吉时利（泰克）4200-SCS半导体参数分析仪 主要性能指标 I-V 源测量单元(SMU) ± 210 V/100 mA 或 ± 210 V/1 A 模块 100 fA测量分辨率 选配前端放大器提供了 10 aA测量分辨率 10 mHz - 10 Hz 超低频率电容测量 100 μF负载电容 四象限操作 2 线或 4 线连接