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冷场扫描电镜
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日立冷场扫描电镜SU8600高分辨率电子显微镜
在细微结构分析中,SU8600可以实现低加速电压观察,对高分子等易受电子束照射影响的材料进行高分辨观察。该系列产品的特点如下:
1.支持自动获取数据
在FE-SEM的观察和分析中,需要根据测量样品与需求调整观察条件。调整所需时间的长短取决于用户的操作熟练度,这是造成数据质量与效率差异的因素之一。此系列产品标配自动调整功能,可避免人为操作导致的差异。
此外,随着仪器性能的提升,需要获取的数据种类与数量也在增加,手动获取各种大量数据会大大增加用户的作业负担。此系列产品可选配“EM Flow Creator",用户可根据自身需求设定条件,自动获取数据,这对于未来通过获取大量数据实现数据驱动开发起到重要作用。
2.增加获取信息的种类与数量
通过SEM能够收集到多种信号,且此系列产品*多可以同时显示和存储6个检测器的信号。在减少图像获取次数的同时能够获取多种信息。
此外,为一次性获取大量信息,像素扩展到了40,960 x 30,720(选配),是之前型号的64倍。利用这一功能,可凭借一张数据图像有效评估多处局部的细微结构。
3.增强信号检测能力
产品特点:
采用电子束在Flashing后出现的高亮度稳定区域作为稳定观察的区间,使得低加速电压条件下兼备高分辨观察和分析的性能
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